简介:采用离子束辅助沉积法(IBAD)在单晶硅片上制备了Ti-Si-N纳米复合薄膜,研究了轰击能量大小对Ti—Si—N纳米复合薄膜生长及力学性能的影响,同时探讨了轰击能量对Ti—Si—N纳米复合薄膜的生长机理的影响。通过原子力显微镜(AFM)、纳米压人仪、光电子能谱(XPS)和X射线衍射分析(XRD)等现代分析技术,对Ti—Si—N纳米复合薄膜的晶粒大小、力学性能、成分与相结构进行综合表征分析。试验结果表明:当轰击能量为700eV时,Ti-Si-N薄膜晶粒直径达到了最小值11nm,此时Ti-Si-N薄膜的硬度相对最高,为33GPa。
简介:天津预备役高炮师坚持把培养人才作为应对多种安全威胁、遂行多样化军事任务的第一手准备,按照科学发展观要求和应急应战需要,适应形势搞谋划,着眼使命强能力,真打实备有作为,较好地推动了部队全面建设和战斗力整体跃