简介:摘要:晶圆湿法清洗工艺是半导体制造中较为关键的一环,清洗后晶圆表面的洁净度取决于清洗设备的性能。湿法腐蚀清洗设备内部废气的排放对晶圆表面的洁净度、操作人员安全、设备安全及生产环境具有重要的影响。本文基于Fluent有限元数值分析平台,建立了设备内部排风的流体场数值分析模型,对其进行了瞬态流场流动分析;研究了排风区域宽度、排风孔长度、排风孔与槽体顶部高度差等因素对设备内部废气流动状态及槽体上方D点处的风速和风压的影响进行了分析,并优选出了最佳排风结构参数。本文可对全自动湿法腐蚀设备的排风分析提供扎实的理论依据。
简介:【 摘要】 本文将高速列车作用下的弹性支座简支梁进行简化,以匀速运动的质量弹簧模型通过弹性支承的简支梁为模型,以车桥振动理论作为依据,通过古典车桥耦合问题的分析方法,推导得出模型过桥时的解析解,借助于逐步积分法编制了 Matlab数值分析程序。通过数值计算,分析计算阶数、行车速度、支座刚度对车桥动力响应的影响。得出研究结论,对实际工程提供一定的参考。
简介:摘要 : 为了研究混流泵内部非定常流动特性 , 基于 ANSYS CFX 软件对混流泵的外特性和内部流场进行了非定常计算 , 获得了不同流量工况下转子径向力的分布情况和不同监测点的压力脉动时域、频域响应 , 分析了不同流量工况对混流泵转子径向力和压力脉动的影响 . 研究结果表明 , 数值计算的外特性结果与试验测量结果的趋势基本吻合 , 说明数值计算的准确度较高 .3 种流量工况下径向力的分布均呈现一定的周期性 , 小流量工况下的瞬态径向力合力最不稳定 , 设计工况下的瞬态径向力合力规律性最强 , 大流量工况下混流泵瞬态径向力合力波动性最小 . 不同流量工况下叶片通过频率始终占主导因素 , 低频信号是引起设计工况压力脉动的主要原因 , 流量变化对轮缘间隙进出口压力系数幅值影响较小 , 对叶轮中间位置处压力系数幅值影响较大 . 研究结果为揭示导叶式混流泵内部不稳定流动特性及其诱导的转子故障恶化提供理论依据 .
简介:摘要随着结构高度的增加,水平荷载对于结构的影响急剧增加。在高层钢结构建筑的设计过程中,由于高度的增加,结构刚度减小,风荷载与地震作用将使得结构产生过度的振动和变形。尤其是对于现在一些体型独特并具有高柔特性的高层建筑,对风荷载比较敏感,当建筑位置位于沿海地区时,若考虑台风作用,风荷载在结构设计中将起到控制作用。同时为了满足使用功能和艺术审美的双重需求,高层钢结构建筑在不断发展过程中,不仅高度逐渐增加,建筑体型和结构布置也日趋复杂多变。当另一项十分严重的自然灾害——地震发生时,这种高层建筑有可能会发生严重的次生灾害。因此针对此类建筑物在地震作用下的性能分析和优化设计就显得十分必要。
简介:摘 要:为了研究列车在隧道中和站台区域运行时的脉动风荷载,本文选取了青岛市地铁 11号线崂山隧道和 2号线东韩车站作为研究对象,通过对隧道进出口区域、曲面区域、平直段区域的中隔墙以及列车进出站区域砌筑墙的风荷载数据进行实时采集,研究结果表明,列车进入隧道的过程,中隔墙上的压力会越来越大,距洞口 60米位置的压力值为 80Pa;列车沿曲面内侧运动时,中隔墙上的最大正压为 220Pa,最小负压 -225Pa,当列车沿曲面外测运行时,中隔墙上的最小负压为 -394Pa,最大正压 180Pa;列车运动到平直段时,压力保持相对稳定,最大正压 160pa,最小负压 -150Pa;列车在砌筑墙小站台运行时,压力较小,最大正压 17Pa,负压 -7.5Pa,最后使用 CFD数值模拟仿真平台对典型工况开展了数值模拟计算,结果与实测数据基本吻合。
简介:摘要:为深入剖析转轮泵的工业性能,文中采用CFD(计算流体力学)对其内部进行有效数值模拟剖析和研究,采用N-S三位不可压缩的 流体的模型,及结构化和非结构化的网格,对泵进出口、周向以及上冠等从各个方向进行剖析;采用有限元的有限体积法对叶轮内的各个旋转坐标进行耦合计算,从而能够预测转轮泵工况的发展方向,为后期的研究提供一定的理论和数据基础。
简介:[摘 要]本文主要介绍了自然生态风的特性研究,在柜式单贯流双出风口空调上模拟生态风特性设计,通过对双出风口导风叶片、风机转速进行控制,并进行了送风测试,结果表明通过模拟生态风的特性控制方法,使得单贯流双出风口柜式空调送风状态满足生态风特性。