简介:摘要:本文老化试验箱的温度均匀度精密设计方法,提出了利用全新的智能矩阵控制加热单元及对老化箱进行加热矩阵分割和精细单元控制,通过老化箱内不同矩阵点的精密温度传感器进行温度测量,智能反馈给中心计算单元,通过比较和计算来精确开启相关位置的矩阵阀门,能够快速对老化测试箱的内腔温度进行升温控制和温度的均匀度控制。
简介:摘要近些年,随着科学技术水平的不断提高,半导体行业这个十分依赖于科学技术水平的行业也快速的在国内外发展起来。压阻式硅压力传感器作为当前半导体行业内一个极具发展潜力的新兴技术,它在制造更是日渐趋于成熟,加工工艺也更加的先进。压阻式硅压力传感器由于其有着其他传感器难以比拟的优点而备受欢迎。压阻式硅压力传感器的体积小、质量轻、成本低但是却具有高度的灵敏性和稳定性,并且便于集成化,能够广泛的应用在有关压力、流速、加速度等数据的测量上,也因此其在化工、水利、气象、医疗等众多的领域都得到应用。尽管压阻式硅压力传感器有着许许多多的优点,但是由于温度对导体材料的影响,有时会使得压力传感器的测量值并不符合实际,测量结果不准确对传感器来说无疑是致命的弱点,因此,本文将简要谈谈基于嵌入式系统的压力传感器的温度补偿研究。
简介:摘要针对硅压阻式压力传感器的温度漂移现象,研制了一款带温度补偿的高精度压力传感器。该设计以ATMEGA328P为核心芯片,以LMP90078为模数转换器,以AD5662为数模转换器,整个电路采用工作温度宽、低温漂的元件,并且在软件中采用最小二乘法进行补偿。实验温度范围为-40℃~125℃,传感器零点(2KPa)输出为0.5V,上限(700KPa)输出为5.5V,经过反复补偿验证,得出该压力传感器的准确度不大于0.5‰,非线性不大于0.5‰。实验结果表明该研制能很好的补偿压力传感器的温度漂移,提高传感器的性能及测量准确度。