摘要
摘要近些年，随着科学技术水平的不断提高，半导体行业这个十分依赖于科学技术水平的行业也快速的在国内外发展起来。压阻式硅压力传感器作为当前半导体行业内一个极具发展潜力的新兴技术，它在制造更是日渐趋于成熟，加工工艺也更加的先进。压阻式硅压力传感器由于其有着其他传感器难以比拟的优点而备受欢迎。压阻式硅压力传感器的体积小、质量轻、成本低但是却具有高度的灵敏性和稳定性，并且便于集成化，能够广泛的应用在有关压力、流速、加速度等数据的测量上，也因此其在化工、水利、气象、医疗等众多的领域都得到应用。尽管压阻式硅压力传感器有着许许多多的优点，但是由于温度对导体材料的影响，有时会使得压力传感器的测量值并不符合实际，测量结果不准确对传感器来说无疑是致命的弱点，因此，本文将简要谈谈基于嵌入式系统的压力传感器的温度补偿研究。
出版日期
2015年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
