简介：摘要：本控制系统根据湿法刻蚀设备的工艺要求，以PLC为主控制器，工控机、ET200远程模块、阀岛、变频器等进行硬件系统的搭建，根据工艺流程基于博途V18进行软件编写，实现对硅片的刻蚀、清洗、碱洗、酸洗、烘干、传输等功能，经过设备在客户现场生产线上实际应用，控制系统运行正常，满足客户使用需求。
一种湿法刻蚀设备的控制系统
