简介：摘要：双束聚焦离子束系统被广泛应用在微电子领域，能有效地利用系统，提升微电子行业的发展质量与水平。此外，由于电器内部结构愈发复杂，因此对芯片技术判断、失效分析、加工维修等工作的标准要求逐渐增加，而运用FIB双输系统则可以加大分析质量和效率。现阶段该系统已经被普遍使用，其主要原因是由于该系统可以在高能离子束的基础上，综合电子束的优势，且利用此种技术的形式进行加工和管理可有效增强生产质量。鉴于此情况，本文将重点围绕双束聚焦离子束工作原理及在微电子领域的应用进行研究，并结合本人工作经历对其工作原理和应用方式进行深入阐述，进而为我国微电子行业的可持续发展奠定良好的基础。
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