Kinetics and Thermodynamics Induced Step-bunching Instability on Semiconductor Surface-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2010-01-11

作者: BAI Lugang;SHOU Xiang;GAN Benxin

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Thispaperintroducesthebasickineticandthermodynamicfactorsaffectingstep-bunchinginstabilityandderivetheone-dimensional(1D)stepmotionequationbasedadatomdiffusionequationforfurtheranalysis.Thestep-bunchinginstabilityisanalyzedfordifferentcases.

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