涡旋式真空泵的发展回顾

对涡旋式真空泵的发展进行了回顾。对目前国内外市场上较为常见的干式涡旋真空泵产品进行了比较。据此，根据有利于国内工业化生产等原则研制了一种结构更为简单，更易于加工和装配的干式涡旋真空泵实验样机，并对其中的相关技术进行了研究。