一种能够多片印刷的网板及SHIM板解析

杨珮艺

上海纪元微科电子有限公司

摘要：一种能够多片印刷的网板及SHIM板，包括真空吸盘，所述真空吸盘的外壁四角均分布有四个限位角块，所述真空吸盘的顶部设置有第一垫片，所述第一垫片上设置有便于固定第二垫片的定位机构。该能够多片印刷的网板及SHIM板，将刷胶钢网板上的放置槽扩大，1：1复制另一个相同的放置槽，使两个放置槽的平边相切，同时第二垫片上的放置槽必须按照钢网上的放置槽外形尺寸及位置完全对应，在印刷机设备条件允许的情况下，可将此设计增加至个放置槽，个放置槽甚至更多，这样晶圆印刷机从一次刮刀涂覆每次仅能生产一片晶圆，扩展到一次两片甚至多片，极大的增加了生产效率，节约了人力资源和成本。

关键词：多片印刷；网板；SHIM板；性能解析

半导体倒贴封装工艺中，经常涉及到各类胶体的涂覆或是印刷某些膏状材料（如锡膏），在前工序化学镀中每个晶圆盒每次可满载生产25片晶圆，然而流转到晶圆印刷时，现有的晶圆印刷机每次仅能生产一片晶圆，致使大量的产品停滞在晶圆印刷站点，此工艺变成了产量瓶颈，另外现有的装置不便于对胶体进行清理。在实际使用过程中不可避免地会产生很微小的震动，易使顶杆发生松动，继而不在同一个水平面上，在较少的顶杆时导致晶圆发生倾斜，由于重力的影响，晶圆会向倾斜低的方向发生偏离，造成损伤，在较多的顶杆时，顶杆端部和晶圆的接触面较小，顶杆移出易造成晶圆上过多的划伤。

针对上述问题，急需在原有印刷网板设计的基础上进行创新设计。

一、设计目的

本次研究的设计目的在于提供一种能够多片印刷的网板及SHIM板，以解决上述背景技术中提出每个晶圆盒每次可满载生产25片晶圆，然而现有的晶圆印刷机每次仅能生产一片晶圆，致使大量的产品停滞在晶圆印刷站点，此工艺变成了产量瓶颈的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种能够多片印刷的网板及SHIM板，包括真空吸盘，所述真空吸盘的外壁四角均分布有四个限位角块，所述真空吸盘的顶部设置有第一垫片，所述第一垫片上设置有便于固定第二垫片的定位机构，所述第一垫片上均匀设置有至少八个便于对第二垫片进行吸附的第一吸附通槽，所述第一垫片的顶部开设有至少两个便于清理的胶槽，每个所述胶槽的内壁均设置有圆台，且每个圆台上均分布有至少七个贯穿圆台和第一垫片的第二吸附通槽，并且每个圆台上均等角度分布有四个便于防静电板顶出晶圆的开口，每个所述防静电板的底部均连接有相对应数量的顶杆，所述第二垫片上设置有用于辅助对晶圆进行刷胶的刷胶钢网板，所述刷胶钢网板和第二垫片上均设置有相对应胶槽数量的放置槽。

二、具体设计方案

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参阅图1-3对本技术方案进行解析：一种能够多片印刷的网板及SHIM板，包括真空吸盘1、限位角块2、第一垫片3、定位机构4、定位杆401、定位孔402、第二垫片5、第一吸附通槽6、胶槽7、圆台8、第二吸附通槽9、顶杆10、防静电板11、放置槽12和刷胶钢网板13，真空吸盘1的外壁四角均分布有四个限位角块2，真空吸盘1的顶部设置有第一垫片3，第一垫片3上设置有便于固定第二垫片5的定位机构4，第一垫片3上均匀设置有至少八个便于对第二垫片5进行吸附的第一吸附通槽6，第一垫片3的顶部开设有至少两个便于清理的胶槽7，每个胶槽7的内壁均设置有圆台8，且每个圆台8上均分布有至少七个贯穿圆台8和第一垫片3的第二吸附通槽9，并且每个圆台8上均等角度分布有四个便于防静电板11顶出晶圆的开口，每个防静电板11的底部均连接有相对应数量的顶杆10，第二垫片5上设置有用于辅助对晶圆进行刷胶的刷胶钢网板13，刷胶钢网板13和第二垫片5上均设置有相对应胶槽7数量的放置槽12。

限位角块2设置为折弯型结构，且限位角块2的内壁与第一垫片3和第二垫片5的边角相互贴合，使得限位角块2便于对第一垫片3和第二垫片5进行限位。

定位机构4包括定位杆401和定位孔402，第一垫片3上对称设置有至少四个便于和定位孔402限位的定位杆401，定位孔402相对定位杆401数量的设置于第二垫片5上，使得定位机构4辅助第一垫片3和第二垫片5稳定接触，使得胶槽7和放置槽12对齐。

定位孔402设置为圆柱形，且定位孔402的顶部和定位杆401的顶部平行，使得定位孔402和定位杆401可以进行配合，对第一垫片3和第二垫片5进行限位。

每个胶槽7之间边侧相切，第一吸附通槽6关于第一垫片3的边缘分布，使得装置便于对第一垫片3和第二垫片5进行稳定吸附。

顶杆10和防静电板11构成“T”型结构，且顶杆10和防静电板11关于圆台8的中心线等角度分布，使得顶杆10和防静电板11便于对加工好的晶圆进行顶出。

工作原理：首先将第一垫片3和第二垫片5依次通过限位角块2和真空吸盘1进行安装，通过定位杆401和定位孔402便于第二垫片5和第一垫片3的对齐，使得第二垫片5上的放置槽12和胶槽7对齐，通过圆台8和放置槽12对待加工的晶圆进行放置，同时使得刷胶钢网板13上的放置槽12也与第二垫片5上的放置槽12对齐，此时真空吸盘1启动，对第一垫片3进行吸附，通过第一吸附通槽6对第二垫片5进行吸附，同时通过第二吸附通槽9对圆台8上的晶圆进行吸附，然后对晶圆进行加工，通过胶槽7和圆台8的设置，对多余的胶体进行收集存储，便于后续进行清理，避免了胶体对装置造成堵塞，加工完毕后，真空吸盘1解除真空吸附，当需要取下晶圆时，通过真空吸盘1上的顶杆10推动防静电板11，使得防静电板11与晶圆接触，推动晶圆顶起，通过防静电板11和晶圆的接触面积增大，以及顶杆10和防静电板11的分布，稳定的对晶圆顶起的同时，减少对晶圆造成的划伤，这就是该能够多片印刷的网板及SHIM板的工作原理。

    尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

图1

图2                           图3

参考文献：

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[2]简庆金. 四色圆片网版印刷生产线结构设计[J]. 丝网印刷, 2020(1):18-21.

[3]杨小琴. 浅谈立体印刷工艺在包装设计中的应用[J]. 今日印刷, 2020(10):57-59.

[4]刘锐, 职森森, 吴仕梁,等. 一种MWT电池片及其丝网印刷方法:, CN111987171A[P]. 2020.

作者简介：杨珮艺（1993.08--），女，汉族，河北唐山人，工学硕士，上海纪元微科电子有限公司工艺工程师，研究方向为新型半导体器件。