硅微陀螺仪正交误差和失调误差抑制线路

分析了正交误差和失调误差产生的原因，推导了正交误差和失调误差的表达式．开环系统分析表明，为了避免开环系统出现谐振峰，两模态（驱动模态与敏感模态）频差δf必须小于1／（2Qy）．为了消除正交误差、失调误差及电容传感器自身非线性的影响，设计了一个可实现正交误差校正的闲环反馈电路．实验结果表明，正交误差和失调误差得到较好抑制．与开环检测相比，闭环反馈回路将标度因数非线性从16．02％减少到0．35％，将最大别号范围从±270（°）／s扩展到±370（°）／s．将零偏稳定性从155．2（°）／h提高到60．6（°）／h．