用喷雾热分解方法制备PZT薄膜及其铁电特性的研究

用喷雾热分解方法制备PZT薄膜，由TGA和DTA确定其退火温度，由XRD和SEM研究其结构特性，用电容-电压技术研究其铁电特性，研究发现：Sawyer-Tower桥测定的C-V曲线与电容-电压技术的结果不同，其铁电性质如电滞回线、Ec和Pr、回线中心的位移、对称性等依赖于测量频率。