光学真空镀膜机的应用及发展

刘宏辉

泮山技术（深圳）有限公司 广东省 深圳市 518109

摘要：本文介绍利用光学电子镀膜机的工作机体内部结构，工作运动原理和光学镀膜制造工艺在生产部件结构选择和镀膜真空资源配置等各个方面的重要决定性指导作用，通过不断改进、改良、优化镀膜系统以期能达到大幅提高镀膜生产工艺精度，降低生产和检修维护过程成本，提高效益，减少环境污染的主要目的。

关键词：光学真空镀膜机；离子源；分子泵；光学蒸发真空镀膜机；抽气系统

引言：

真空结晶体的膜体在这种正常高温下自然空气蒸发之后就会落到外部真空上在工件上的膜体表面自然空气发生真空散射激光结晶这一原理是真空镀膜的主要技术工作原理和基本原理。由于它是自然界的空气对这种高温自然蒸发的真空结晶体，那么他就会在在膜体内部产生一种分子性的冲击，最后就会对其内部产生很大的热阻力，结晶体就可能会因此变得粗糙无光这也就是这种正常高温情况下自然空气散射产生的热量和碰撞的光效应能力造成的，要使整个真空结晶体细密结合产生一种光亮就必须在这种高温的内部真空下激光继续散射进行。为了有效研究和解决自然蒸发辐射膜体的蒸发，因为他无法快速进入加工的特殊溅射膜体蒸发材料的新品种。如高热镀钛和高温热镀锆等。现在我们需要重新加上中频磁控加速靶，首先用磁控溅射靶用中频加速磁控式溅射靶将快速进入溅射膜体的分子自然辐射蒸发分子辐射膜体分子，在具有强磁场和电场的自然辐射蒸发作用下快速进行中频加速辐射蒸发合并轰击溅射中的靶材。溅击靶的弹射释放出大量的溅射靶材自然蒸发辐射原子，呈中性的溅射轰击靶材使膜体蒸发原子(或自然蒸发辐射分子)迅速进入沉积在溅射膜体中的基片上而迅速形成溅射膜。

一、光学镀膜机的结构及其原理

由电动真空溅射系统、蒸镀溅射系统、冷却系统等再加上电动排气溅射系统共同组成的是光学真空镀膜机，其中由电动真空罐以及电动排气溅射系统共同组成的主体是电动真空溅射系统。电动真空罐系统是光学镀膜机的最为重要主体，一个真空罐中可以完成所有镀膜工作过程，真空罐和电动排气溅射系统通过电动连接排气阀相互地连接^[1]。在镀膜工作的任何一个时候，必须将所有电动光学溅射装置元件和离子源一起放入安置于一个充满光学真空罐的溅射环境中，这样就是为了有效率地防止溅射罐内空气环境中的化学分子对溅射罐内所有离子的直接溅射影响、提高所有液体溅射膜面光学涂层的溅射空气质量。由电动真空机械光学真空溅射泵、罗茨泵和电动光学真空泵三个大部分一起组成的主体是电动排气溅射装置系统主要技术组成部分，负责快速进气排出所有进入电动真空罐内的所有溅射气体、使罐内所有气体共同形成一个充满光学真空气的溅射环境。电动光学真空成膜溅射机器装置部分光学镀膜溅射是电动光学真空蒸镀溅射装置系统主要技术组成部分^[2]。

二、光学镀膜机的特点

相比于一些传统的真空镀膜机，光学真空镀膜机主要有以下3个主要特点。

(1)柔性光学薄膜的外层表面十分光滑，膜间与层内部的折射度功率比度是稳定不变的，膜间与层间的不同折射度比率在表面上同时可以发生跃变。

(2)基件采用高温光学智能电子加热镀膜机在进行高温激光镀膜元件使用中的过程中可使晶体基件的温升更低，在对晶体基件表层温度较敏感元件的主要晶体表面上，就是通过基件采用高温光学智能电子加热镀膜机对其晶体基件表层进行一次高温激光镀膜。

(3)对于其他光学电子元件的快速镀膜，光学元件镀膜机的工作精度更高，光学性质也能够更加稳定、膜的涂层更加均匀。

三、光学镀膜机的改进

3.1光学镀膜机的部件选择

在实际工业生产中和应用中往往涉及生产成本价格、工作效率和使用性能等诸多内容。发源设备配置的大小尺寸和应用绝大多数取决于一家公司的产业发展战略定位，这基本上已经很固定，很难改变，所以离子源设备配置和光学真空镀膜系统的热效率配置是主要因素考虑因素。从材料成本、性能和空气污染量这3个关键方面综合考虑，选用一种射频源薄膜作为离子源，以此方式来衡量保证1.8米宽的镀膜机械泵尺寸下辐射树脂膜的lens树脂膜的辐射离子束空间密度以及辐射功率。高精度真空机械泵泵组配合镀膜机械泵进一步有效降低了高真空罐内的真空度，较高的罐内真空度利用有利于大幅提升树脂膜的涂层利用质量^[3]。从产品购置和安装维护材料成本、真空利用效率、启动暂停持续时间和空气污染物含量等几个方面进行综合考量，选择用新型分子扩散泵组来代替这种传统的离子扩散机械泵^[4]。相同流量速率和流量下，分子扩散泵电机相比于大型扩散式油泵不但维护保养方便费用低，而且维护功耗更低、启动的持续时间更短。由于大型分子泵不需要使用任何油液，因此其不可能存在使用油液零污染的重大问题。分子泵比旧式的扩散泵更具备流量抽速大、启动快、无使用油液零污染、维护简单等几大优势，但成本价格高、结构过于复杂成为它的一些劣势

^[5]。

3.2高稳定性能的光学真空镀膜机

在镀膜工艺的发展中，我们需要更高性能更高稳定性的光学真空镀膜机，由此保障更高的经济效益。一种高稳定性能的光学真空镀膜机，包括镀膜机机箱，真空室设在镀膜机机箱的内部，转动杆设在真空室的中部，若干个圆形托盘焊接在转动杆上，轴承安装在转动杆的底端，齿轮箱安装在镀膜机机箱的顶端中部，电机安装在齿轮箱上，微型气泵设在齿轮箱的一侧，该真空镀膜机整体稳定性能强，移动的时候只需要收起梯形配重块直接推动镀膜机就可以完成移动，当需要工作固定的时候，只需要通过液压缸将梯形配重块缓缓放下，从而增加与地面的接触面积，增加其稳定性能，在镀膜机工作的时候不会发生晃动的现象，提高镀膜质量^[6]。

四、结束语

随着科技和工业技术的不断发展，光学真空镀膜机也在不断地改进不断地发展，光学真空镀膜机的部件选择不断地优化，它的工作精度也在不断地提高。光学电子真空加热镀膜机不仅得到了更广泛的工业应用，而且生产成本也大大降低，环境污染问题得到了有效地减少。

参考文献

[1] 孙海新. 光学真空镀膜机的应用及发展[J]. 设备管理与维修, 2021(11):2.

[2] 郗金霞. 用于生产光学镜片的真空镀膜机冷却装置:, CN211005582U[P]. 2020.

[3] 黎月明, 邓楼楼, 杨健,等. 电铸镍Wolter-I型光学系统制造技术发展综述[J]. 空间控制技术与应用, 2020, 46(2):8.

[4] 李长富, 李长荣. 一种光学镜片镀膜用的真空镀膜机:, CN210529034U[P]. 2020.

[5] 李强. 探析环保除尘设备的发展及应用[J]. 2021.

[6] 汪雷雷, 仲梁维, 戴秀海. 蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析[J]. 中国水运：下半月, 2020(3):2.