国内首台自主知识产权“光刻机”面世

合肥经济开发区管委会对外宣布，具有世界领先水平、完全属于自主知识产权的国内第一台无掩膜式（直写式）“光刻机”在合肥研制成功，这标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。