MEMS反射镜中的增强型拓扑结构耦合电感

闫思齐1，姜苈峰2

（1.空军航空大学，吉林长春，130022；2.空军航空大学，吉林长春，130022）

摘要：模拟器对体积有严格要求限定，为了进一步推动模拟器平视显示系统集成，必须提出新的方法来产生静电MEMS驱动器所需的高电压，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求。在这种情况下，本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于便携式应用中静电驱动MEMS的输入电压。

关键词：MEMS；耦合电感

1引言

基于MEMS反射镜的模拟器平视显示系统，采用静电斥力驱动，驱动电压约为200V，设计一个体积小效能高的电感能满足模拟器的体积限定和驱动器的电压要求。本文设计的增强型拓扑结构耦合电感，能以最小的占用率达到最大的效率。

2增强的拓扑结构

一旦所有的能量转移到输出，转换器进入DCM（直流）。节点1和3上的电压下降到GND（接地），同时节点1和3的位置发生准谐振LC振荡。与耦合电感相对应的C2和C3，在不影响整个系统的前提下，可以适当调节尺寸，以设置自然振荡频率。

3总结

本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于模拟器平视显示系统中静电驱动MEMS反射镜的输入电压。

参考文献

[1]R.WaiandR.Duan,HighStep-UpConverterwithCoupled-Inductor,IEEET.onPowerElectronics,vol.20,pp.1025-1035,Sept.,2005

[2]M.Karpelson,etal.,Milligram-ScaleHigh-VoltagePowerElectronicsforPiezoelectricMicrorobots,IEEEInternationalConferenceonRoboticsandAutomation(ICRA),pp.2217-2224,May,2009.