基于PSD的微小位移测量研究

介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统。该系统结合半导体位置探测器件（PositionSensitiveDetection，PSD）及现代计算机技术，利用激光在两平面镜间多次反射，将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移，从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量。实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量，测量精度达到11．5nm。