主要介绍了离子注入新技术的工作原理,以及在核辐射探测器中的应用;离子注入技术条件(包括加速电压、注入剂量、注入时间与退火温度等)选取;用离子注入技术制备的核辐射探测器的特性比较。
防化研究
2004年1期