<正>坐落于北京市经济技术开发区文昌大道8号的北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子),作为国内领先的高端半导体装备制造企业,所开发的刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备等核心产品已广泛应用于集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、
现代职业安全
2014年6期
