超大规模集成电路生产厂的供配电设计

1.概述超大规模集成电路产业是我国重点发展及政策扶持的产业之一,是电子工业的基础性产业和事关国家经济发展水平和综合实力的战略性产业。而超大规模集成电路生产工厂特别是芯片(晶圆)厂更是电子工业中投资及技术高度密集的工厂。近年来,随着计算机及通信、信息