膜去溶进样高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级氢氟酸中杂质元素

利用高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级高纯氢氟酸中的痕量金属杂质，用膜去溶进样系统直接进样检测，无需前处理、快速，避免了在样品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰，降低检出限，提高定量准确性。方法的检出限为0．09-37．07μg／L，加标回收率为92．3％-116．8％。方法简单，结果可靠，适用于高纯氢氟酸中痕量元素的快速测定。