溶胶-凝胶工艺MgO薄膜制备及表征

(整期优先)网络出版时间:2011-05-15
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采用溶胶-凝胶工艺制备了MgO薄膜.X射线衍射谱显示,随热处理温度升高,薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观测也得到相同的结果,且随热处理温度升高,薄膜表面粗糙度增加.