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基于微光机电系统的微感知技术

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摘要微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一。由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景。首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战。通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议。

DOI pd5xrrgw47/937523

作者陈丽洁;史鑫;栾剑;郇帅

机构地区不详

出处《中国电子科学研究院学报》 2010年6期

关键词微机电系统微光机电系统微感知技术

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2010年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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