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2024年3期
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电子级氢氟酸生产过程质量管控
电子级氢氟酸生产过程质量管控
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摘要
摘要:我国光伏行业发展迅速,相应地对氟化工的依赖程度也在不断增加。电子级氢氯酸作为光伏板制备、集成电路清洗的关键性材料,我国长期以来依赖于进口。对我国电子级氢氯酸的研究进展进行了概述,主要包括发展现状、在线监测、质量控制等几个方面。
DOI
3j7m0zymmj/8138905
作者
杨宏
刘勇
机构地区
陕西延长石油集团氟硅化工有限公司 陕西 商洛 726000
出处
《科技新时代》
2024年3期
关键词
电子级氢氯酸
制备工艺
在线监测
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2024年04月09日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科技新时代
2024年3期
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