退火气氛对ZnO：N薄膜的光电性质影响

研究了退火气氛对ZnO：N（氮掺杂的氧化锌）薄膜的光电性质影响。结果发现，n型电导原位生长的ZnO：N薄膜样品，经过600℃O2气氛下退火后，样品A表现为P型电导特征；而经过600。CNz气氛下退火后，样品B仍然表现为n型电导特征。低温光致发光光谱（PL）测试表明，样品A和样品B的发光光谱最大的差别为样品A的低温发光光谱中具有与受主相关的发光峰，峰位位于3．348eV；样品B的低温发光光谱中具有与施主相关的发光峰，峰位位于3．358eV。

• 作者: 王相虎;李荣斌;田亚丽
• 出处: 《上海电机学院学报》 2009年3期
• 关键词: 退火 光电特性 发光光谱
• 分类: [电气工程][电机]