浅谈半导体洁净厂房相关控制

摘要: 洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求最高，因为现今的晶圆已经都发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。

• 作者: 席蒙
• 出处: 《新视线·建筑与电力》 2023年1期
• 关键词: 洁净室 半导体 晶圆
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