半导体厂房洁净空调系统要点分析

摘要当前洁净室为高科研、高技术等产业的发展提供了物质基础，为这些行业生产和加工提供了必要的压力、温度、湿度、洁净度等。文章以半导体厂房为例，首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案，且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验，归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点，以期为相关应用设计及研究提供理论参考。

• 作者: 冯晓娜
• 出处: 《防护工程》 2018年4期
• 关键词: 半导体厂房 空调系统 洁净空调
• 分类: [文化科学][]