改良西门子法多晶硅生产技术进展

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 摘要改良西门子法生产多晶硅是当前较为普及、技术熟练度最高、扩充速度最迅速的技术。本文将阐述改良西门子法多晶硅生产技术进展,力图使改良西门子法多晶硅生产技术持续创新,并提升多晶硅生产效率。
机构地区 陈文岳
出处 《基层建设》 2015年17期
出版日期 2015年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献