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《中国工程物理研究院科技年报》
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2006年1期
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光学元件装校应力控制技术
光学元件装校应力控制技术
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摘要
应力控制技术的目的是研究大口径元件装校和安装过程中引入的应力对面形的影响以及相应的控制方法,实现应力控制装校,尽可能校正上述3种原因造成的面形误差。利用Ansys软件建立反射镜和晶体的装校应力与面形关系模型,建立模拟实验平台,验证理论模型,寻找最优化的装校方案,形成应力控制装校技术的工艺指导文件。
DOI
wjv5n6q9d7/586726
作者
熊召;袁晓东;刘青安;唐灿;程晓峰
机构地区
不详
出处
《中国工程物理研究院科技年报》
2006年1期
关键词
应力控制技术
光学元件
装校
ANSYS软件
面形误差
模拟实验平台
分类
[理学][物理]
出版日期
2006年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国工程物理研究院科技年报
2006年1期
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