锂掺杂p型氧化锌薄膜的制备-中国期刊网

摘要通过将含有原子百分含量为29／6锂（2at％）的锌锂（Zn—Li）合金薄膜在500℃氮气氛中退火2h，然后在700℃氧气氛下退火1h的方法分别制备出P型锂掺杂的氧化锌（ZnO：Li）薄膜。通过He—Cd激光器的325nm线激发，测量了样品低温（12K）发光光谱，并根据Zn—Li合金薄膜的低温发光光谱特征，计算出（LiZn-N）复合受主能级的位置位于价带顶137meV处。

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