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Olympus发布新型圆片检测系统

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摘要据SemiconductorReporter网站报道，OlympusntegratedTechnologiesAmerica近期发布了一款新型300mm圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷检测系统。该公司以前的检测系统不含有倾角检测能力，倾角检测将通过连续角度调节实现最佳成像和缺陷探测。

DOI 2d3138qn49/456067

作者

机构地区不详

出处《现代表面贴装资讯》 2006年4期

关键词圆片检测系统 OLYMPUS 倾角检测缺陷探测检测能力

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2006年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）