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MEMS反射镜中的增强型拓扑结构耦合电感

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摘要摘要模拟器对体积有严格要求限定，为了进一步推动模拟器平视显示系统集成，必须提出新的方法来产生静电MEMS驱动器所需的高电压，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求。在这种情况下，本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于便携式应用中静电驱动MEMS的输入电压。

DOI zdl737rp4l/4403764

作者闫思齐1，姜苈峰2

机构地区（1.空军航空大学，吉林长春，130022；2.空军航空大学，吉林长春，130022）

出处《科技新时代》 2018年7期

关键词 MEMS 耦合电感

分类 [医药卫生][]

出版日期 2018年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）