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磁控溅射靶磁场的模拟优化设计

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摘要摘要本文基于磁控溅射的磁场分布水平和磁场强度在镀膜性能与质量上影响与价值分析，结合磁控靶材的结构及其磁场的计算方法和步骤的探讨，以及利用ANSYS软件对磁控溅射靶磁场的分布及其相关参数作二维的模拟与分析，对影响磁控溅射磁场分布和磁场强度的主要素和作用机制作详细的分析，以为优化磁控溅射靶的设计，达到正常溅射工作对靶材表面磁场分布及大小的要求提供借鉴与参考。

DOI 3j71w3v5j1/2726053

作者崔新礼

机构地区中国南玻集团股份有限公司

出处《基层建设》 2019年5期

关键词磁控溅射靶材磁场 ANSYS二维模拟优化设计

分类 [建筑科学][建筑设计及理论]

出版日期 2019年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）