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直拉硅单晶中氧含量优化研究

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摘要摘要本文从埚转、等径功率、投料量等几个方面论述了直拉硅单晶中氧含量的控制方法，通过工艺调整，降低硅单晶的氧含量，改善晶体品质。

DOI 7j6z2myp40/2832590

作者杨烨

机构地区 (中国电子科技集团公司第四十六研究所天津市300220)

出处《电力设备》 2018年16期

关键词直拉硅单晶，氧含量，熔体对流

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2018年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电力设备

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直拉硅单晶，氧含量，熔体对流

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