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吉时利联手研发65nm以下先进工艺特征分析技术
吉时利联手研发65nm以下先进工艺特征分析技术
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摘要
未填写
DOI
7dmn7wny4n/1563954
作者
章从福
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2008年5期
关键词
吉时利
NM
晶圆厂
工艺特征
分析技术
测量功能
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2008年05月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
2008年5期
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