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一种基于偏振光干涉的直线度测量系统

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摘要介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。

DOI rj8enlq7j0/1442010

作者肖胜;周易;冯胜东;康吉

机构地区不详

出处《光学与光电技术》 2014年5期

关键词直线度测量偏振光干涉相位系统

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 2014年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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光学与光电技术

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