简介:摘要:微型压力传感器是利用 MEMS技术研制的一种微型压力传感器,其结构采用圆片级封装形式,以硅材料为敏感芯片,并通过 MEMS技术将其加工成不同形状的微型压力传感器。其尺寸一般小于10 mm×0.1 mm,且具有较高的灵敏度、线性度和稳定性。目前,采用 MEMS技术制备的微型压力传感器主要应用于对体积微小的流体或固体进行压力测量。本文对基于 MEMS技术的微型压力传感器进行了设计与优化,并在此基础上搭建了测试系统。研究结果表明,采用 MEMS技术制备的微型压力传感器具有较高的灵敏度、线性度和稳定性,并可以满足小尺寸、高精度测量的需求。