简介:摘要:直流辉光放电等离子体广泛应用于材料表面成分分析及镀层深度分析等领域,等离子体电子密度直接影响离化及激发速率,同时它在放电腔体中的均匀性也与溅射的均匀性有关。为了研究腔体内等离子体的放电特性,本文采用COMSOL Multiphysics仿真软件,基于流体力学方程对辉光放电等离子体的电子密度特性进行仿真研究。研究结果表明,随着电极电流的增加等离子体电子密度整体增高,其轴向电子密度也在升高,且电子密度的均匀性随着电流的增加而变差;等离子体电子密度随着气压的增加而增加,径向电子密度的均匀性随着气压的增加而有轻微改善。研究结果对指导直流辉光等离子体参与材料表面成分分析及镀层深度分析等具有重要意义。
简介:探测夸克-胶子等离子体是高能物理研究的最前沿领域之一。本文详细讨论了拧测夸克-胶子等离子体的方法、意义和形成夸克-胶子等离子体的临界物理条件及研究现状和趋势。
简介:微波等离子体光源是一类重要的有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源,电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源。本文是微波等离子体光谱技术发展的第二部分,主要介绍了电容耦合微波等离子体光源及微波等离子体炬光源的结构原理和性能。并对它们的技术特点和进展进行评述。
简介:微波等离子体光源是一类有较强激发能力的原子发射光谱光源,主要包括微波感生等离子体光源(MIP),微波电容耦合等离子体光源及微波等离子体炬光源。文章分两部分,第一部分介绍了微波感生等离子体光源的结构原理和性能,并对它们的技术特点和进展进行评述。低功率微波感生等离子体光源用于直接测定溶液中某些痕量金属元素是比较困难的,如Pb,Hg,Se等元素,但它已成功地与气相色谱联用用于测定C,H,O,N,S等难激发的非金属元素。高功率磁场激发的氮一微波感生等离子体光源(N2-MIP),允许使用通用玻璃同心雾化器产生湿试液气溶胶直接进入等离子体核心,等离子体能稳定运行,其分析性能近似于商用ICP光源,且运行费用低廉,是有发展前景的一种新型原子发射光谱光源。