简介:摘要:近年来,国内大力支持和发展半导体技术,而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展,洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高,而一些生产制造设备在工艺制程中,不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放,在排放废气的同时,为了维持洁净厂房的正压环境,则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气,用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。
电子工业洁净厂房净化空调系统设计