简介：介绍了一种带有微型漂移管(0.6cm^3)的微机电系统射频离子迁移谱仪及其检测性能。该仪器的检测下限可达PPb浓度水平，同时在毒剂检测和识别化合物方面具有传统飞行时间离子迁移谱所不具备的高选择性。文中对其工作原理及制造工艺进行了详细的分析和阐述，并对其应用前景进行了评述。
新型微机电系统射频离子迁移谱仪的技术分析及应用评述
