简介：摘要：三氯氢硅的还原工艺是改进西门子工艺多晶硅工艺的重要环节，其生产能力是否能够满足设计要求，这对生产达产、降低生产成本、稳定产品品质起着重要作用。本文对还原炉的影响因素进行了分析，并给出了相应的改进措施，希望能给有关人员带来帮助和参考。
多晶硅还原炉产能影响因素分析
