简介：摘要：随着电子设备和能源领域对高性能、高稳定性材料需求的增加，新型基板材料对硅外延和碳化硅外延薄膜质量的影响备受关注。传统基板材料，极端工作条件下的表现不尽如人意。寻求更为优越的基板材料以优化外延薄膜的质量成为当前研究的重要方向之一。
新型基板材料对硅外延和碳化硅外延薄膜质量的影响分析
