简介:TN2562005021205一种新型微变形镜键合技术=Bondingprocessforanovelmicro-deformablemirror[刊,中]/余洪斌(华中科技大学光电子工程系.湖北,武汉(430074)),陈海清…//光电工程.-2004,31(8).-12-14,22对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100%。
简介:摘要光电振荡器作为一种新型的微波信号发生器,可以产生频率高达几百吉赫兹的超高频谱纯度微波信号。而低相位噪声、高频谱纯度、高品质因数的微波信号又被广泛应用于宇宙探测、雷达、航空航天、通信系统和电子对抗等领域。但是长光纤容易受外界环境温度和应力应变的干扰,且增加了系统体积,因此利用长光纤作为储能延时元件的方案一直制约着OEO小型化的发展。由于光学谐振腔特殊的结构设计,当光子进入谐振腔后会在腔内反复的传播,而经过微波调制后的光信号,简称微波光信号(又称微波光子),其既有光的特性,又有微波的性质,当微波光子进入光学谐振腔后,谐振腔会作为一个微波传输环形谐振器,对微波光子产生很强的延时效应。