简介:提出一种利用感应腔1个支路和角向传输线实现直线型变压器驱动源(lineartransformerdriver,LTD)开关同步触发闭合的新方法,触发支路与LTD感应腔其他支路具有相同工作电压和气压,触发支路不包围磁芯.当触发支路开关被外施1路脉冲触发闭合后,产生快前沿高电压脉冲并沿角向线传输,触发感应腔其他支路开关.该触发方式在20支路并联500kALTD感应腔和34支路并联0.1Hz重频800kALTD感应腔上证明可行.基于该触发方式感应腔,又给出了从上游感应腔触发支路引出脉冲触发下游相应位置感应腔的次级为水介质传输线多级串联LTD驱动源的同步触发方法,可显著降低Z箍缩驱动源的外触发脉冲数量.
简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:摘要在国家相关政策的支持下,近些年我国的配电网的建设与发展得到了巨大的推动,同时分布式光伏并网容量也得到了大幅提升。在提高配网可靠性和清洁能源并网容量两大契机下,本文针对配电网多馈线组的特点及大规模储能设备及光伏发电并网的情况,在现有的固态开关和模块化多电平变换器的基础上改进,提出一种能适用交直流混合配电网的固态多端口联络开关拓扑。