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3 个结果
  • 简介:为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息。实验结果表明:与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10mm和40mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性。

  • 标签: 波长移相 平行平晶 干涉 频率
  • 简介:从辐射传输方程中函数的展开方法出发,分别介绍了δ-M展开法和δ-fit展开法,并对这两种函数展开方法进行了比较。结果表明,在函数展开中,当所取勒让德多项式的阶数相同时,δ-M法的图像始终在真实相函数附近波动,始终无法逼近真实的函数的值,而δ-fit法符合较好。

  • 标签: 辐射传输方程 相函数 δ-M方法 δ-it方法
  • 简介:相位法激光测距的测量精度与鉴环节密切相关,实现高精度的距离测量要求鉴器能够准确测量高频率调制信号之间的相位差。研究了使用正交解调的方法测量相位差,通过对ijn,4量信号和参考信号进行正交解调处理获得与相位差相关的直流偏置电平,采样并计算即可得到相位差测量结果。使用移相器配合两个正交解调模块,综合两个模块的测量结果,可以保证测量精度并分辨两路信号之间的超前滞后关系。通过实验验证,当信号频率为100MHz,信号幅度为80dBμV时,相位差的测量误差在~1°~1°。

  • 标签: 激光测距 正交解调 相位差 超前滞后