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  • 简介:微机械陀螺仪是微机电系统(MEMS)研究的重要内容.双输入轴微机械陀螺仪可最大限度地发挥微结构的固有功能并实现最低成本.本文综合了国内外在这方面的主要研究报道,概述各自的结构、工艺、测试和性能特点,以展示双输入轴微机械陀螺仪的发展历程与研究现状.

  • 标签: 微机电系统 双输入轴 微机械陀螺仪
  • 简介:为了减小陀螺加速度表输入失调角,从理论上分析了陀螺加速度表输入失调角存在对陀螺加速度表测试精度的影响,提出了利用三轴转台设计减小陀螺加速度表输入失调角的试验方法.试验结果表明,利用三轴转台可以成功地将陀螺加速度表测试精度提高一个数量级.

  • 标签: 陀螺加速度表 输入失调角 三轴转台 试验
  • 简介:介绍了用4个位移传感器法测试精密离心机主轴径向回转误差和倾角回转误差的方法,计算了主轴回转误差中一次谐波,它包括圆锥运动和一次谐振运动,对一次谐波如何影响精密离心机中的向心加速度及其在加速度计坐标系下的分配作了详细分析,同时对重力加速度分配的影响也作了详细的分析。最后得出了被测加速度计的输入加速度的平均值的补偿方法,进一步提高了加速度计的输入精度。通过对离心机主轴回转误差运动的检测和测试,定量分析了对加速度计输入精度的影响,有助于提高加速度计的标定精度。

  • 标签: 精密离心机 回转误差 加速度 标定