简介:摘要:伴随着摩尔定律的发展,集成电路(以下简称IC)的发展经历了从小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路(MSI)、大规模集成电路(LSI)、甚大规模集成电路(VLSI) 直至今天的超大规模集成电路(ULSI)、巨大规模集成电路(GSI)。根据国际半导体技术路线图(ITRS)的规定,集成电路工艺水平是通过技术节点来衡量。技术节点通常以晶体管的半节距 (half-pitch) 或栅极长度(gatelength)等特征尺寸(CD,critical dimension)来表示 。在进入 ULSI 时代以后,横向空间的饱和,促使 IC 制造向垂直空间发展;向垂直空间发展的思路促使多层金属互连技术的出现。而多层金属互连技术的出现导致 IC 制造过程中不可避免的在层与层之间产生台阶,层数越多表面起伏愈加明显。明显的表面起伏主要有两方面的影响产生,一方面金属布线中容易导致断线、短路、断路,另一方面导致光刻时对线宽失去控制。
简介:摘要:进入21世纪以来,机械设计以及自动化学科在不断发展,它是国家工业生产以及制造行业的重要技术支撑。随着我国的工业化脚步不断加快,我国也开始从制造大国向制造强国迈进。所以,我们急需应用性强的专业化人才,解决目前的教学问题是当务之急,也是长远之计。
简介:摘要:进入21世纪以来,机械设计以及自动化学科在不断发展,它是国家工业生产以及制造行业的重要技术支撑。随着我国的工业化脚步不断加快,我国也开始从制造大国向制造强国迈进。所以,我们急需应用性强的专业化人才,解决目前的教学问题是当务之急,也是长远之计。
简介:摘要:近年来,我国市场经济持续繁荣,社会不断进步,科学技术水平逐步提高,对于机械制造业来说,科技的发展带来了新的机遇。 .为了发展。在机械制造行业中,机械设计与机械制造技术密切相关,密切相关,为机械制造行业的发展提供了强大的动力。根据两者的性质和作用,机械设计水平以机械制造技术为基础,应为提高机械产品的性能和保证机械制造质量提供依据。机械设计与制造技术在一定程度上可以决定制造业的发展前景,有效创造财富,推动科技进步。
简介:摘要:随着经济的快速发展,环境问题变得越来越严重。从可持续发展的需要出发,必须高度重视环境保护和生态文明建设。化工行业也应遵循绿色环保的指导思想,应用高新技术、优化工艺流程、减少污染排放,对促进生态平衡、实现节能绿色社会具有积极意义。
简介:摘要:随着经济的快速发展,环境问题变得越来越严重。从可持续发展的需要出发,必须高度重视环境保护和生态文明建设。化工行业也应遵循绿色环保的指导思想,应用高新技术、优化工艺流程、减少污染排放,对促进生态平衡、实现节能绿色社会具有积极意义。