简介：<正>世界上作为二次能源的汽油和柴油生产所依靠的石化燃料储量正日益减少,这就需要寻找一种不依赖石化燃料而储量丰富的新能源,而氢正是这种能源。许多实验数据证明,氢有可能在21世纪成为一种最重要的二次能源。氢有许多其它燃料所不具备的优点,首先它的热量高达289000大卡/千克,为汽油的24倍。液态氢燃烧时能产生1700℃左右
简介：三氯氢硅（SiHCl3）作为硅外延片的关键原材料，其纯度直接影响着硅外延层的性能。一般三氯氢硅纯度的测试方法有两种，除采用化学分析方法测试外，通常用生长不掺杂外延层（本征外延层）的方法来确定。即采取测量三氯氢硅生长后的硅外延本征电阻率的方法来衡量其纯度。而影响硅外延本征电阻率的主要因素为系统的自掺杂，增加硅外延的生长时间可以有效抑制系统自掺杂，但无限制的增加生长时间必然导致生产成本的增加。文中通过实验数据，确定了一个合理的硅外延本征生长工艺过程，从而达到了评价三氯氢硅纯度的目的。
氢能将是新世纪的重要能源
三氯氢硅本征电阻率（纯度）的测试方法
