简介：简要介绍了利用深反应离子刻蚀制作折叠波导慢波结构的现状及制作的工艺流程。对深反应离子刻蚀掩膜制作即光刻工艺,以及折叠波导慢波结构的深刻加工进行了深入的研究。详细分析了各光刻工艺对光刻胶图形的影响,尤其是前烘对光刻胶图像侧壁垂直度的影响;在深反应离子刻蚀中,还详细分析了刻蚀时间、下电极功率以及刻蚀气体气压对刻蚀结果的影响。经参数优化后获得最佳工艺参数,并制作出带有电子注通道的W波段折叠波导慢波结构,慢波结构深为946μm,侧壁垂直度为91°,电子注通道深为225μm,侧壁垂直度为90°。
简介：低热管内污垢自动清洗的钢丝螺旋线存在需较高的流速带动和磨损两大问题。作者为此提出以塑料螺旋线替代钢丝螺旋线解决磨损问题，又设计固定塑料螺旋线的空芯管来解决刚度太差的缺点，并且又以螺旋流道的高速流动替代管内的低流速，显著增大其自转力矩，达到可以在0.4m/s以上的低流速下可靠应用的目的，并且传热系数强化幅度约50%，制造简单，具有很好的工程应用价值。
DRIE技术加工W波段行波管折叠波导慢波结构的研究
污垢自动清洗螺旋线的低速强化与防磨损技术
