简介：针对信息系统中不同投影变换的变形特点及误差分布差异导致的使用问题,介绍了3种常用的地图投影变换原理,分析了不同投影变形产生机理及变形误差分布规律,并根据误差分布规律提出了不同投影在不同位置的误差校正方法,为因大区域范围投影使用和多套投影变换的交叉使用而出现的问题提供解决思路。
简介：先进节点逻辑集成电路制造是当前工业界的领先工艺。为实现接触（Contact）层的光刻工艺,需要从两个关键方面进行处理：解析度和全间距的共有工艺窗口。离轴照明＋相移掩模＋亚解析度辅助图形多种解析度增强技术的组合使用是解决光刻成像的方法。从优化接触层离轴照明的类型方面解决光刻制造工艺的问题。
信息系统中地图投影变形问题及其解决方法
先进节点接触层照明类型优化解决光刻制造要求
