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STM observation of pit formation and evolution during the epitaxial growth of Si on Si（001） surface

作者： Xu Mao-Jie;Jeyanthinath Mayandi;Wang Xue-Sen;Jia Jin-Feng;Xue Qi-Kun;Dou Xiao-Ming
学科：理学 > 物理
创建时间：2010-10-20
出处：《中国物理B：英文版》 2010年第10期

简介：PitformationandsurfacemorphologicalevolutioninSi(001)homoepitaxyareinvestigatedbyusingscanningtunnelingmicroscopy.Anti-phaseboundaryisfoundtogiverisetoinitialgenerationofpitsboundbybunchedDBsteps.Theterracesbreakupandarereducedtoacriticalnucleussizewithpitformation.Duetoanisotropickinetics,adownhillbiasdiffusioncurrent,whichislargeralongthedimerrowsthroughthecentreareaoftheterracethanthroughtheareaclosetotheedge,leadstotheprevalenceofpitsboundby{101}facets.Subsequentannealingresultsinashapetransitionfrom{101}-facetedpitstomulti-facetedpits.
标签：扫描隧道显微镜 SI(001) 表面形态显微镜观察外延生长演化过程

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