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Designing of Quasi—universal Compensator for Testing Aspherical Surface

简介：Accordingtothetheoryoftestingasphericalsurfacebynormalaberrationcompensationmethod,thedesigningmethodofquasi-universalcompensatorisstudied.Onthebasisofthird-orderaberrationtheory,aftercalculatingandoptimizingwithanopticaldesignprogram,thestructureparametersofacompensatorareobtained.ThisnewcompensatorcouldbeusedinTwyman-Greeninterferometer,andinmeasurementofacertainrangeofparaboloidellipsoidandhyperboloid.Thecompensationaccuracyismorethan0.02λ.
标签：准通用补偿器非圆表面光系统当量像差补偿方法图像处理

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